精密儀器是指用以產(chǎn)生、測(cè)量精密量的設(shè)備和裝置，包括對(duì)精密量的觀察、監(jiān)視、測(cè)定、驗(yàn)證、記錄、傳輸、變換、顯示、分析處理與控制。精密儀器是儀器儀表的一個(gè)重要分支。

精密儀器種類繁多、結(jié)構(gòu)各異。對(duì)于用于測(cè)量的精密儀器而言，可將其結(jié)構(gòu)分為基準(zhǔn)、感受轉(zhuǎn)換、轉(zhuǎn)換放大傳輸、瞄準(zhǔn)/讀數(shù)、數(shù)據(jù)處理、顯示記錄、驅(qū)動(dòng)控制、機(jī)械結(jié)構(gòu)等八大功能部件。但并不是說(shuō)一臺(tái)精密儀器中必須包含上述八大功能部件，而是應(yīng)根據(jù)儀器功能的要求有所選擇。

1．基準(zhǔn)部件

基準(zhǔn)部件為測(cè)量提供標(biāo)準(zhǔn)量，測(cè)量結(jié)果均須與之比較方能得到準(zhǔn)確的測(cè)量值。因此，它是決定精密儀器精度的主要環(huán)節(jié)。

基準(zhǔn)器件的種類很多，如用于幾何量（長(zhǎng)度和角度）測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)器件：量塊、精密測(cè)量絲杠、線紋尺、度盤、多面棱體、多齒分度盤、光柵尺（盤）、磁柵尺（盤）、感應(yīng)同步器、光波等。對(duì)于復(fù)雜參數(shù)，有漸開(kāi)線樣板、表面粗糙度樣板等標(biāo)準(zhǔn)件，還有提供標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)圓運(yùn)動(dòng)、漸開(kāi)線運(yùn)動(dòng)和齒輪運(yùn)動(dòng)裝置。此外還有標(biāo)準(zhǔn)硬度塊、頻率計(jì)，以及時(shí)間、照度、流量、色度、激光參數(shù)、溫度、測(cè)力、稱重等標(biāo)準(zhǔn)。可根據(jù)需要選取。